La 1ère édition de l'atelier du groupe d'experts en films minces EUROnanoLAB sur le CVD et l'ALD est organisée à Toulouse (France) par le LAAS-CNRS (https://www.laas.fr/en/) - membre du réseau français des salles blanches académiques RENATECH.

Les objectifs sont d'échanger des informations sur la technique de dépôt utilisée : les paramètres de l'équipement, les paramètres du processus de dépôt, les meilleures pratiques, des résultats avec succès ou inconvénients. Chaque expert pourra faire une demande d'expérience(s) supplémentaire(s) ou un besoin d'aide à  ENL-TF.

Aussi il y aura des discussions sur : les points forts technologiques, nouveaux équipements ou d'upgrade d'équipements,  nouveaux matériaux en film mince.

Le format de cet atelier se décline en présentations orales (15min) technique et technologique d'experts CVD et/ou ALD, d'industriels du domaine CVD ou ALD, en présentations de posters technique et technologique CVD et/ou ALD, de tables rondes sur la CVD et ALD, de visites de la salle blanche du LAAS.

Les sujets traités sont : 

• Utilisation du plasma pour les dépôts
• Traitement de surface avant le dépôt (ex situ ou in situ)
• Recuit in situ ou ex situ pour rendre "cristallin" le thin film
• Diagnostics in situ pendant le dépôt
• Caractérisations des propriétés du film mince déposé par CVD ou ALD

Enregistrement gratuit pour participer au workshop avec (ou sans) une présentation ou un poster :

                                                                       Enregistrement est ouvert

L'accès à notre laboratoire est restreint : veuillez remplir le  visit statement form

Pour des questions ou en cas de problèmes, veuillez contacter (Comité d'Organisation) :

Pascal Dubreuil dubreuil@laas.fr 

Susana Cardoso de Freitas scardoso@inesc-mn.pt 

Matias Trujillo ricardo.m.trujillo@ntnu.no

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